新刊速递：《真空》杂志2012年第4期

薄膜小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究付学成，徐锦滨，乌李瑛，等利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱李静，谭张华，刘星星，

薄膜

小圆形平面靶倾斜磁控溅射镀膜均匀性研究

付学成，徐锦滨，乌李瑛，等

利用遗传算法定量分析Ni/Cr多层膜俄歇深度谱

李静，谭张华，刘星星，等

稀土锆酸盐热障涂层的相稳定性和界面结合性能研究

白明远，王鑫，甄真，等

射频磁控溅射对PET基材制备铝薄膜的性能影响

张健，牛夏斌，李建浩，等

《荧光检测分析用干涉滤光片》标准解析

任少鹏，高鹏，王瑞生，等

溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的研究进展

纪建超，颜悦，哈恩华

真空获得与设备

超高真空大抽速复合分子泵的设计

郁晋军，董欣，刘敏强

KM6容器粗抽过程的CFX模拟与分析

常冬林，任晓宇，杜春林，等

大型风洞用离心真空泵气动设计

齐大伟，李伟华，李传旭，等

230MeV超导回旋加速器束流测量装置的设计研究

郑侠，管锋平，温立鹏，等

真空冶金与热工

基于半导体器件钎焊技术的温度场研究

解永强，靳丽岩，杨晓东，等

金属多孔材料真空烧结炉控制系统设计改造

戴晨，南海娟，盛小洋，等

测量与控制

螺旋波等离子体源中离子能量及其诊断

姜开银，杨丽珍，刘忠伟，等

模糊神经网络锅炉温度控制系统

许丽，吴泽明，刘旭，等

真空应用

微米级裂纹对水冷无氧铜坩埚的影响

杨光，刘欢，王丁丁，等

水蒸气等离子体发生器工作特性实验研究

涂军，宋文杰，张斌，等

CF4流量及射频功率等对反应离子刻蚀硅基材料的影响

廖荣，崔继耀，董景尚，等

超高真空和高真空技术的应用

马义刚，李智慧

真空技术应用系列讲座

第二十一讲 真空卷绕镀膜

张以忱

信息

第十五届国际真空科学与工程应用学术会议（VSEA-15）会议通知

东北大学

东北大学第十六期《真空技术》论坛通知

东北大学

GB/T3163《真空技术术语》修订暨ISO3529标准转化工作组会议在浙江省杭州市召开

全国真空技术标委会

2021年ISO/TC112/WG2第二次工作组会议顺利召开

全国真空技术标委会

勘误声明

沈阳真空杂志社

中国真空学会2021年活动计划表

中国真空学会